- [晶振动态]通过超强大的MEMS振荡器提高汽车可靠性和性能2019年07月03日 13:55
越来越多地使用车载电子系统增加了对可靠汽车级的需求参考定时组件.今天,最高质量的汽车定时解决方案基于MEMS定时技术,这种技术本质上比石英晶体技术更强大.硅MEMS定时组件使用由IC开发的严格控制和标准制造行业.这些工艺和标准与SiTime专有的MEMS和模拟IC相结合技术带来了超高品质的产品.而且因为这些定时器件都是基于硅的,它们符合AEC-Q100标准,与AEC-Q200相比具有更高的认证要求.
硅MEMS制造工艺
SiTime MEMS谐振器采用单晶硅制造,是一种15倍的无缺陷材料比钛强.SiTime的谐振器采用获得专利的MEMSFirst™和EpiSeal™制造工艺,可在1100℃下对谐振器进行退火.因此,极端汽车环境中存在的温度对MEMS谐振器没有任何有意义的影响.这种高温工艺生产出一种密封的高质量谐振器没有污染物.谐振器完全封装在硅芯片内,非常适合能抵抗外部伤害.MEMS谐振器可以像标准CMOS芯片一样处理并使用标准IC封装工艺封装.通过使用MEMSFirst工艺,ISO/TS经过16949认证的半导体供应链,以及标准封装工艺,MEMS振荡器都有更高的质量和可靠性,以及几乎无限的容量.
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